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喜開(kāi)理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W

喜開(kāi)理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W

簡(jiǎn)要描述:喜開(kāi)理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W
■壓力及流量特性*
氟樹(shù)脂膜片,與金屬膜片相比,壓力和流量特性更加*
■由于過(guò)濾器為內(nèi)置型,更能保證流體內(nèi)無(wú)異物,更安全
■采用面板安裝,使安裝過(guò)程更加容易,也可以在底部進(jìn)行安裝

產(chǎn)品型號(hào):

所屬分類:喜開(kāi)理CKD電磁閥

更新時(shí)間:2024-11-06

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

詳情介紹

喜開(kāi)理,CKD真空閥RM3000-8-W-B3W

壓力(B→A) MPa 0~0.5
閥座泄漏cm3/min 0 (水壓時(shí))
背壓MPa 0~0.5
環(huán)境溫度°C 0~60
頻率30/分以下
安裝方式自由
比原有產(chǎn)品Part 3系列壓力范圍更大。
控制壓力通用,A、B 口的壓力通用化了。
本品是在半導(dǎo)體線中,為控制真空室內(nèi)的真空壓力而設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。
●各種CVD裝置 ●實(shí)驗(yàn)·研究用途(真空壓力控制)

APK11-25A-C4A AC220V
apk11-25a-c4a-ac220v
APS-6D
APS-6D-W/Z
ARB250-00-P
AT-24
AX1045TS-DM02-P3-U0
AX4022TS-BS-DM04-P3-S-U0
AX4045TS-BS-DM04-P3-S-U0
AX4045TS-DM04-P1-U1
AX4045TS-DM04-P3-S-U4
AX4075TS-DM04-U0
AX4300TH-DM04-P3-U0
AX9000TS-U0
B110-W
B2019-2C-P
B410-W
C1000-8-W-F1
C1020-8-W-US
C3030-10W


前請(qǐng)確認(rèn)產(chǎn)品構(gòu)成材料與流體及周邊環(huán)境是否適用。
注2 :氫氟酸或者含有氫氟酸的化學(xué)液體時(shí),
請(qǐng)?jiān)?~80°C范圍內(nèi)。
如果連接方式為F-LOCK60系列配件,溫度范圍變?yōu)?~100°C。
Cv值是溫度為23°C時(shí)的值。
流體純水、化學(xué)液體、空氣、氮?dú)猓ㄗ?)
流體溫度°C 5~120 (注2、注3)
耐壓MPa 1.0
壓力(A→B) MPa 0~0.5
在半導(dǎo)體以及LCD制造的清潔化學(xué)液體(包括純水)的設(shè)備
內(nèi),用于控制化學(xué)液體壓力的減壓閥
■對(duì)異物非常敏感的內(nèi)置型過(guò)濾器
■流量、壓力特性優(yōu)良,安裝簡(jiǎn)單
■優(yōu)良的耐腐蝕性
接液部位氟樹(shù)脂(PFA、PTFE)和SUS316,可發(fā)揮優(yōu)良的耐腐蝕性
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